arXiv ID:
2604.13236
arXiv 提交日期: 2026-04-14
SemiFA:一个用于自主生成半导体失效分析报告的多模态智能体框架 / SemiFA: An Agentic Multi-Modal Framework for Autonomous Semiconductor Failure Analysis Report Generation
1️⃣ 一句话总结
这篇论文提出了一个名为SemiFA的多模态智能体系统,它能在一分钟内自动分析半导体缺陷图像,并结合设备数据和历史记录,快速生成结构化的失效分析报告,极大提升了工程师的工作效率。